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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：高低溫真空探針臺(tái) 半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：HCVP-2
  • 產(chǎn)品廠商：華測(cè)儀器
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
高低溫真空探針臺(tái)華測(cè)儀器研發(fā)生產(chǎn)，晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)。
詳情介紹：
高低溫真空探針臺(tái) 半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)
源頭工廠支持定制，更多詳情歡迎咨詢
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
真空-溫度協(xié)同控制
真空系統(tǒng)：分子泵+渦旋泵多級(jí)抽氣，30分鐘內(nèi)實(shí)現(xiàn)10^-6 torr級(jí)真空度，支持惰性氣體氛圍切換
超寬溫域：液氮制冷與電極加熱復(fù)合控溫，控溫穩(wěn)定性±0.1K。
精細(xì)測(cè)量能力
抗干擾設(shè)計(jì)：真空障蔽腔體降低電磁噪聲，支持pA級(jí)（皮安級(jí)）微弱電流與μΩ級(jí)（微歐級(jí)）電阻測(cè)量

多通道拓展：標(biāo)配4探針臂（可擴(kuò)展至6探針臂），支持四線法、射頻探針、光電協(xié)同測(cè)試


參數(shù)規(guī)格
腔體
制冷方式：液氮/液氦  、制冷機(jī)
控制方式：開循環(huán)手動(dòng) 、閉循環(huán)自動(dòng)控制
溫度范圍：77K ~ 450K  、4.5K ~ 450K
溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
穩(wěn)定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
探針座
X-Y-Z移動(dòng)行程：50mm×25mm×13mm
結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動(dòng)精度：10μm / 1μm


公司介紹
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd.
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