產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，把需要測量的器件放到探針臺的載物臺上，配合顯微鏡，X-Y移動器件，找到需要探測的位置；通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），準(zhǔn)確扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通，通過測試機(jī)可以得到所需要的電性能參數(shù)
詳情介紹：
半導(dǎo)體探針臺 MEMS微器件測試
參數(shù)規(guī)格臺體參數(shù)
水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置X-Y移動行程：4英寸*4英寸（卡盤X-Y軸無間隙移動）
X-Y移動精度：1μm
樣品固定：不低于4″卡盤，采用中間吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品，均單獨控制，中間吸附孔下限可以選擇250微米
針座平臺：U型針座平臺，可同時容納2~4個CB-100探針座同時點測；帶有鎖定旋鈕夾盤，可以附加單獨的校準(zhǔn)片載臺
樣品臺調(diào)節(jié)：平臺可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡，便于針卡重定位
溫控參數(shù)
溫度范圍：室溫~400℃
分辨率：0.1℃
控溫精度：0.1℃
溫度穩(wěn)定性：±1℃
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd.
