無氧化原位電學表征真空探針臺
真空-溫度協同控制
真空系統：分子泵+渦旋泵多級抽氣，30分鐘內實現10^-6 torr級真空度，支持惰性氣體氛圍切換
超寬溫域：液氮制冷與電極加熱復合控溫，控溫穩定性±0.1K。
精細測量能力
抗干擾設計：真空障蔽腔體降低電磁噪聲，支持pA級（皮安級）微弱電流與μΩ級（微歐級）電阻測量
多通道拓展：標配4探針臂（可擴展至6探針臂），支持四線法、射頻探針、光電協同測試
腔體
樣品臺尺寸：2英寸 4英寸 6英寸
樣品固定：彈簧壓片
觀察窗口：2英寸 4英寸 6英寸
真空度：10??torr
顯微鏡
X-Y-Z移動行程：50mm×25mm×13mm
結構：外置探針臂，真空波紋管結構
移動精度：10μm / 1μm
光源：外置LED環形光源/同軸光源
CCD：200萬像素/ 500萬像素/ 1200萬像素
公司介紹
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, reviated as Hua Ce Instrument. It is a company engad in research and development, production and manufacturing. The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.
The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive performance evaluation of sensors, etc.
