產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
高低溫真空探針臺華測儀器研發(fā)生產(chǎn)，晶圓測試高低溫真空探針臺是一種輔助執(zhí)行機構(gòu)。
詳情介紹：
高低溫真空探針臺 半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)
源頭工廠支持定制，更多詳情歡迎咨詢
產(chǎn)品優(yōu)勢真空-溫度協(xié)同控制
真空系統(tǒng)：分子泵+渦旋泵多級抽氣，30分鐘內(nèi)實現(xiàn)10^-6 torr級真空度，支持惰性氣體氛圍切換
超寬溫域：液氮制冷與電極加熱復(fù)合控溫，控溫穩(wěn)定性±0.1K。
精細測量能力
抗干擾設(shè)計：真空障蔽腔體降低電磁噪聲，支持pA級（皮安級）微弱電流與μΩ級（微歐級）電阻測量
多通道拓展：標(biāo)配4探針臂（可擴展至6探針臂），支持四線法、射頻探針、光電協(xié)同測試
腔體
制冷方式：液氮/液氦 、制冷機
控制方式：開循環(huán)手動 、閉循環(huán)自動控制
溫度范圍：77K ~ 450K 、4.5K ~ 450K
溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
穩(wěn)定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
探針座
X-Y-Z移動行程：50mm×25mm×13mm
結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動精度：10μm / 1μm
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd.
